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薄膜折射率測(cè)試概述

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  一、薄膜折射率測(cè)試概述

  RT-V 系列反射透射測(cè)量?jī)x,采用進(jìn)口氘鹵二合一光源,結(jié)合高性能分光光譜儀,可測(cè)量獲得紫外到近紅外光譜范圍內(nèi)薄膜的反射率和透射率光譜,并進(jìn)一步計(jì)算獲得樣品色坐標(biāo),以及薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。

  高性價(jià)比穿透率、反射率測(cè)量解決方案

  色坐標(biāo)計(jì)算和薄膜特征解析

  模塊化定制,支持在線集成應(yīng)用

  二、薄膜折射率測(cè)試產(chǎn)品特點(diǎn)

  采用高性能進(jìn)口氘鹵二合一光源,光譜范圍覆蓋可見(jiàn)光到近紅外范圍;

  支持全光譜范圍反射率高精度量測(cè),基于薄膜層上下界面反射光干涉原理,輕松解析單層至多層薄膜特征;

  三、薄膜折射率測(cè)試產(chǎn)品應(yīng)用

  RT系列反射透射測(cè)量?jī)x,可實(shí)現(xiàn)各種透明、低對(duì)比度、高反射率樣品反射率和穿透率光譜快速精準(zhǔn)測(cè)量,并進(jìn)一步計(jì)算獲得樣品色坐標(biāo)、薄膜樣品厚度及光學(xué)常數(shù)。廣泛應(yīng)用于各種濾光片、濾鏡、鏡頭、玻璃、染色液、薄膜的測(cè)量。

  薄膜折射率測(cè)試儀主要基于光學(xué)原理,通過(guò)檢測(cè)光在薄膜中的傳播特性來(lái)確定薄膜的折射率。常見(jiàn)的原理包括反射法和透射法。

  反射法

  當(dāng)光線照射到薄膜表面時(shí),一部分光被反射回來(lái)。根據(jù)菲涅爾公式,反射光的強(qiáng)度、偏振狀態(tài)等與薄膜的折射率有關(guān)。

  例如,對(duì)于垂直入射的光,在兩種介質(zhì)(如空氣和薄膜)的界面處,反射率是周圍介質(zhì)(如空氣)的折射率。通過(guò)測(cè)量反射光的強(qiáng)度等參數(shù),可以反推出薄膜的折射率。

  橢圓偏振法是一種先進(jìn)的反射式測(cè)試方法。它利用橢圓偏振光照射薄膜,由于薄膜對(duì)不同偏振方向的光具有不同的反射系數(shù),導(dǎo)致反射光的偏振狀態(tài)發(fā)生變化。通過(guò)分析這種變化,可以得到薄膜的折射率和厚度等信息。

  透射法

  光透過(guò)薄膜時(shí),會(huì)發(fā)生折射和部分吸收。根據(jù)斯涅爾定律,光從一種介質(zhì)進(jìn)入另一種介質(zhì)時(shí),會(huì)發(fā)生折射,折射角與兩種介質(zhì)的折射率有關(guān)。

  對(duì)于透射光,其強(qiáng)度也會(huì)受到薄膜的折射率和厚度的影響。例如,當(dāng)光垂直入射時(shí),透射光強(qiáng)度是入射光強(qiáng)度d是薄膜厚度。通過(guò)測(cè)量透射光的強(qiáng)度、相位等參數(shù),結(jié)合已知的薄膜厚度等信息,可以計(jì)算出薄膜的折射率。

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