NanoXSpot微焦點(diǎn)測試儀，NanoXSpot焦點(diǎn)測試儀詳細(xì)介紹：

NanoXSpot微焦點(diǎn)測試儀，NanoXSpot焦點(diǎn)測試儀用于對光斑尺寸 <100 μm 的 X 射線管進(jìn)行質(zhì)量保證，根據(jù) prEN 12453-6、prEN 12453-7 評估焦點(diǎn)尺寸 <100 μm 和光斑形狀

歐洲計(jì)量創(chuàng)新與研究計(jì)劃項(xiàng)目開發(fā)了新的 NanoXSpot (NxS) 測量儀，具有線組、西門子星形和孔圖，用于測量小至 100 納米的聚焦光斑

計(jì)算機(jī)斷層掃描 (CT)可以根據(jù)從物體周圍不同角度拍攝的一系列 X 射線圖像重建物體的體積數(shù)據(jù)集，這項(xiàng)技術(shù)被廣泛用于醫(yī)學(xué)中的患者診斷。此外，它還被用于航空航天和電子等行業(yè)的無損檢測、缺陷與內(nèi)部結(jié)構(gòu)的評估以及產(chǎn)品尺寸的驗(yàn)證。這些行業(yè)對檢測分辨力的要求小至納米級。

隨著電子設(shè)備的小型化變得越來越普遍，以及隨著新技術(shù)（如電動(dòng)汽車）的出現(xiàn)和航空工業(yè)中輕質(zhì)化合物的使用，對 5微米或更小分辨力（大約人類頭發(fā)絲寬度的 1/10）的 CT 測量的需求日益增加。X 射線管的光斑尺寸直接影響到測量分辨力。但是，對于5微米以下的 X 射線管光斑尺寸，沒有國際公認(rèn)的標(biāo)準(zhǔn)或測量方法。X 射線設(shè)備制造商采用自有的測量方法導(dǎo)致了不一致的結(jié)果。因此，研究人員正在開發(fā)基于可溯源表征的測量儀來確定光斑大小、形狀和位置的新方法，并將作為這些光斑測量的國際公認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)引入。

歐洲計(jì)量創(chuàng)新與研究計(jì)劃（EMPIR）項(xiàng)目《對光斑小至100納米的 X 射線管焦斑尺寸的測量 （NanoXSpot，18NRM07）》正在開發(fā)新的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐，以比目前更高的準(zhǔn)確度水平表征 X 射線焦斑。